AS-20

全自動晶圓光學鏡檢機

適用于 Wafer/Frame 的外觀缺陷檢測。配置先進的光學系統，搭載多道光組合檢測，結合 AI 算法檢測模型，可以精確識別晶圓表面常見缺陷。分布式計算系統為檢測提供超高算力。