GK-120

全自動曝光機

該機型可按照二極管芯片廠家需求定制，滿足4、5、6英寸Wafer的一次曝光

GK-150

全自動曝光機

矽電全新推出的全自動曝光機，可按照二極管芯片廠家工藝設計需求進行定制，滿足4寸、5寸晶圓在同一機臺上進行一、二、三次光刻的工藝處理需求。批量自動化設計，配備輸入、輸出料盒各四個；雙工位并行滿足曝光和對準上片同步 進行。