AOI檢測

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AS-20

AS-20

全自動晶圓光學鏡檢機

支持Wafer或Frame自動上料方式，兼容4~8英寸
高分辨率的光學系統，良好的成像效果
多道光組合檢測，不同缺陷自定義打光方式
用戶自定義缺陷類型及創建元件庫，缺陷項分類標記，靈活編排檢測算法
結合AI算法檢測模型，應對復雜缺陷場景
具備自動擴膜及切割道檢測功能
搜尋及排列功能，適應擴膜產生的不規則變形
分布式計算系統+高速數據傳輸系統，為檢測提供超高算力
自動生成缺陷分布MAP圖，可與探針臺的MAPPING數據自動合檔
SPC功能，基于數據庫查詢的圖表統計和結果追溯等

應用領域

常見的分立器件類晶圓的表面缺陷檢測

主要功能

自動上傳存儲數據庫

自動切換光學倍率

自動條碼調用檢測程序

自動對焦調光

自動讀取晶圓ID

全自動多料盒上下片

自動晶圓掃描對準

針痕檢測功能

多工位自動打點

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