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      PT-320
      PT-320
      綜合型高精度半自動探針臺,滿足多樣化的測試需求
      全新一代高精度定位平臺(定位精度±2μm)
      開放式面板設計,搭配不同組件,實現更加豐富的測試功能
      自動對針功能,更適用于集成電路多芯同測和倒扣扎針的測試需求
      常高溫、高溫、恒溫等CHUCK可選
      抽測功能,可實現晶圓片上不等距步進,任意點測試
      具有多Bin分類顯示Mapping功能,任意分析晶圓片參數分布情況
      高精密光學模組,結合最新圖像軟件算法,實現探針自動精確定位,安全可靠全自動測試;
      CHUCK模塊化設計,選配、更換更加便捷;

      應用領域

      4-8英寸分立器件、功率器件、集成電路、射頻器件、光芯片等晶圓的半自動探針測試

      測試應用
      WAT測試
      光芯片測試
      高低溫測試
      射頻測試
      高壓測試
      大電流測試
      低漏電測試
      低阻測試
      主要功能
      針痕檢測功能
      自動清針功能
      MAP圖實時顯示、存儲產品
      自動對針功能
      自動晶圓對準功能
      晶圓厚度自動檢測功能
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