功率器件工藝技術的高度迭代發展，帶來了更多形態的晶圓圓片類型，包括Taiko片，厚度低至50um的超薄片，以及由于減薄帶來的各類晶圓翹曲片等，對探針平臺的機械手搬運傳輸運送系統提出了巨大的技術挑戰。在全新一代的探針臺設計中，自主創新引入多種模塊化的搬運傳輸技術平臺模塊，可以靈活多樣的快速滿足客戶工藝的更高要求，保障良率和系統可靠性。